?真空泵機(jī)組是由多種真空泵組合而成的真空獲得設(shè)備，其目的是在特定的工作條件下，能夠獲得比單一真空泵更低的壓力、更大的抽氣速度或者更適合的真空環(huán)境。
啟動(dòng)前的準(zhǔn)備要點(diǎn)
檢查設(shè)備連接與完整性
仔細(xì)檢查真空泵機(jī)組各部件之間的連接是否牢固，包括管道、閥門、法蘭等的連接。確保真空管道無裂縫、無泄漏，所有的連接件都已擰緊，密封良好。例如，檢查法蘭連接處的密封墊片是否安裝正確，有無破損，以防止空氣泄漏進(jìn)入真空系統(tǒng)。
確認(rèn)真空泵機(jī)組的所有組件齊全且完好，如主真空泵、前級(jí)真空泵、電機(jī)、儀表等設(shè)備外觀無損壞，電線連接正常，各個(gè)真空泵的油位（如果是油封真空泵）處于合適的位置。對(duì)于油位檢查，要查看油窗，油位應(yīng)該在標(biāo)記的上下限之間，以保證真空泵的正常潤滑。
系統(tǒng)清潔與干燥檢查
確保被抽系統(tǒng)和真空泵機(jī)組內(nèi)部清潔、干燥。因?yàn)殡s質(zhì)和水分可能會(huì)影響真空泵的性能，甚至損壞真空泵。在啟動(dòng)前，可以使用干凈的壓縮空氣或氮?dú)獯祾哒婵障到y(tǒng)和真空泵機(jī)組，去除可能存在的灰塵、碎屑等雜質(zhì)。
檢查系統(tǒng)中是否有殘留的液體，如果有，需要清除。特別是對(duì)于可能與真空泵工作液發(fā)生反應(yīng)的液體，如強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等，必須徹底清除，以避免損壞真空泵。
閥門狀態(tài)檢查與設(shè)置
確認(rèn)所有閥門處于正確的初始狀態(tài)。進(jìn)氣閥應(yīng)關(guān)閉，防止空氣在啟動(dòng)時(shí)大量進(jìn)入系統(tǒng)；排氣閥應(yīng)打開，確保真空泵能夠順利排出抽出的氣體。對(duì)于一些帶有旁通閥的系統(tǒng)，要根據(jù)具體的操作要求設(shè)置旁通閥的狀態(tài)，例如在啟動(dòng)前可能需要關(guān)閉旁通閥，以保證系統(tǒng)的正常抽氣路徑。
真空測量儀表校準(zhǔn)與檢查
檢查真空測量儀表是否正常工作，并且進(jìn)行校準(zhǔn)（如果需要）。使用標(biāo)準(zhǔn)的真空校準(zhǔn)設(shè)備或者已知真空度的參考系統(tǒng)，對(duì)熱偶真空計(jì)、電離真空計(jì)等儀表進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測量的準(zhǔn)確性。儀表的讀數(shù)應(yīng)該能夠準(zhǔn)確反映系統(tǒng)的真空度，這對(duì)于監(jiān)控真空泵機(jī)組的工作狀態(tài)至關(guān)重要。
啟動(dòng)過程要點(diǎn)
順序啟動(dòng)真空泵
按照正確的順序啟動(dòng)真空泵。一般先啟動(dòng)前級(jí)真空泵，因?yàn)樗梢灶A(yù)先降低系統(tǒng)壓力，為啟動(dòng)主真空泵創(chuàng)造條件。在啟動(dòng)前級(jí)真空泵后，觀察其運(yùn)行狀態(tài)，如電機(jī)的轉(zhuǎn)速、泵的聲音等是否正常。當(dāng)系統(tǒng)壓力降低到主真空泵的啟動(dòng)壓力要求后，再啟動(dòng)主真空泵。例如，對(duì)于以旋片真空泵為前級(jí)泵、擴(kuò)散泵為主泵的機(jī)組，當(dāng)旋片真空泵將系統(tǒng)壓力抽到低于 10 - 1 帕后，才能啟動(dòng)擴(kuò)散泵。
關(guān)注啟動(dòng)電流與電壓
在啟動(dòng)真空泵時(shí)，密切關(guān)注電機(jī)的啟動(dòng)電流和電壓。啟動(dòng)電流不應(yīng)超過電機(jī)的額定電流，否則可能會(huì)損壞電機(jī)或電氣設(shè)備。如果啟動(dòng)電流過大，可能是電機(jī)負(fù)載過重或者存在電氣故障，需要立即停止啟動(dòng)并檢查原因。同時(shí)，確保供電電壓穩(wěn)定在真空泵機(jī)組要求的額定電壓范圍內(nèi)，電壓波動(dòng)過大可能會(huì)影響真空泵的正常運(yùn)行。
檢查真空系統(tǒng)初始?jí)毫ψ兓?br>啟動(dòng)真空泵后，觀察真空系統(tǒng)的初始?jí)毫ψ兓Ｕ婵諟y量儀表應(yīng)該顯示壓力逐漸下降，如果壓力沒有下降或者下降速度過慢，可能是真空泵機(jī)組存在漏氣、閥門未正確開啟或者真空泵本身故障等問題。此時(shí)需要對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行檢查，如使用檢漏儀檢查系統(tǒng)是否漏氣，檢查閥門的開閉狀態(tài)等。
運(yùn)行過程要點(diǎn)
監(jiān)測真空度與抽氣速度
持續(xù)監(jiān)測真空系統(tǒng)的真空度，確保其達(dá)到并維持在所需的工作真空度范圍內(nèi)。根據(jù)不同的應(yīng)用場景，對(duì)真空度的要求也不同。例如，在半導(dǎo)體制造的某些工藝中，要求真空度達(dá)到 10??帕甚至更低。同時(shí)，關(guān)注抽氣速度，抽氣速度應(yīng)符合系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求。如果真空度無法達(dá)到設(shè)定值或者抽氣速度明顯下降，可能是系統(tǒng)漏氣、真空泵性能下降或者氣體負(fù)載增加等原因?qū)е碌模枰皶r(shí)檢查和處理。
觀察設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)（溫度、聲音、振動(dòng)等）
注意觀察真空泵機(jī)組各設(shè)備的運(yùn)行溫度。例如，油封真空泵在運(yùn)行過程中，泵體溫度會(huì)升高，但不應(yīng)超過規(guī)定的溫度范圍。如果溫度過高，可能是泵的潤滑不良、電機(jī)過載或者散熱不暢等原因引起的。同時(shí)，注意聽設(shè)備運(yùn)行的聲音，正常情況下真空泵運(yùn)行聲音平穩(wěn)，若出現(xiàn)異常噪音，如尖銳的摩擦聲、撞擊聲等，可能表示真空泵內(nèi)部部件磨損或者有異物進(jìn)入。另外，還要關(guān)注設(shè)備的振動(dòng)情況，過度振動(dòng)可能是由于真空泵安裝不平衡、電機(jī)故障或者連接部件松動(dòng)等原因?qū)е碌摹?br>檢查工作液（如果有）狀態(tài)
對(duì)于使用工作液的真空泵（如擴(kuò)散泵），要定期檢查工作液的狀態(tài)。包括工作液的液位、顏色和清潔度等。液位過低會(huì)影響真空泵的性能，需要及時(shí)補(bǔ)充工作液。如果工作液顏色變深或者出現(xiàn)雜質(zhì)，可能會(huì)降低真空泵的效率，甚至損壞真空泵，需要更換工作液。同時(shí)，要確保工作液的循環(huán)系統(tǒng)正常工作，如循環(huán)泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)，管道無堵塞等。
定期記錄運(yùn)行參數(shù)
在真空泵機(jī)組運(yùn)行過程中，定期記錄真空度、抽氣速度、設(shè)備溫度、電流、電壓等運(yùn)行參數(shù)。這些記錄可以幫助分析真空泵機(jī)組的性能變化趨勢，及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在的問題。例如，通過比較不同時(shí)間的真空度和抽氣速度記錄，可以判斷真空泵是否逐漸老化或者系統(tǒng)是否存在逐漸加重的漏氣情況。
停機(jī)過程要點(diǎn)
順序停機(jī)真空泵
停機(jī)時(shí)，應(yīng)按照與啟動(dòng)相反的順序關(guān)閉真空泵。首先關(guān)閉主真空泵，待主真空泵完全停止后，再關(guān)閉前級(jí)真空泵。這樣可以避免主真空泵在高真空狀態(tài)下突然暴露在大氣壓下而損壞。例如，對(duì)于高真空系統(tǒng)，在關(guān)閉擴(kuò)散泵后，要等待擴(kuò)散泵冷卻，內(nèi)部壓力恢復(fù)到一定程度后，再關(guān)閉旋片真空泵。
放空系統(tǒng)壓力（如果需要）
在某些情況下，停機(jī)后需要將真空系統(tǒng)中的壓力放空。可以通過緩慢打開進(jìn)氣閥，讓空氣逐漸進(jìn)入系統(tǒng)，使系統(tǒng)壓力恢復(fù)到大氣壓。在放空過程中，要注意控制進(jìn)氣速度，避免過快的壓力變化對(duì)系統(tǒng)造成沖擊。例如，對(duì)于一些對(duì)壓力變化敏感的真空設(shè)備，如精密的真空鍍膜設(shè)備，過快的壓力恢復(fù)可能會(huì)導(dǎo)致鍍膜層脫落或者設(shè)備內(nèi)部部件損壞。
清理與維護(hù)工作準(zhǔn)備
停機(jī)后，可以為后續(xù)的清理和維護(hù)工作做準(zhǔn)備。例如，準(zhǔn)備好清潔工具、檢查和更換所需的零部件等。同時(shí)，在停機(jī)后，設(shè)備可能還處于高溫狀態(tài)，要注意防止?fàn)C傷，等待設(shè)備冷卻后再進(jìn)行清理和維護(hù)操作。