螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。
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由兩個(gè)串聯(lián)的螺桿軸組成,一個(gè)為主動(dòng)螺桿軸,一個(gè)為被動(dòng)螺桿軸,當(dāng)主動(dòng)螺桿軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),被動(dòng)螺桿軸跟隨旋轉(zhuǎn),在兩個(gè)螺桿軸的螺紋間形成一系列密封工作室,當(dāng)螺桿軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),工作室從入口端逐漸縮小,從而使氣體被不斷壓縮和排出,實(shí)現(xiàn)真空狀態(tài)。
螺桿真空泵廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè),包括但不限于:
電子工業(yè):用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程等。
核工業(yè):用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得。
化工工業(yè):用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,脂肪酸生產(chǎn)中用來(lái)消除水污染,清除噴射器中的阻塞物等。
醫(yī)藥工業(yè):用于回收藥液及藥物中間體,回收氣體消毒劑等。
食品工業(yè):用于香料、香精濃縮,食品包裝等。