油式真空泵的工作原理是利用機(jī)械方式將氣體抽出，從而形成真空，其工作過(guò)程可以大致分為兩個(gè)階段：壓縮階段和排氣階段。

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在壓縮階段，入口處的氣體經(jīng)過(guò)特殊的干式過(guò)濾器過(guò)濾掉灰塵、鐵屑、顆粒等雜質(zhì)，并將氣體壓縮進(jìn)入泵體內(nèi)部，泵體內(nèi)的氣體被抽出，形成真空。轉(zhuǎn)子在泵體內(nèi)旋轉(zhuǎn)，將氣體壓縮并排出泵體。
同時(shí)，氣缸和活塞也起到了重要的作用，氣缸內(nèi)的氣體被壓縮，然后通過(guò)氣閥排出泵體，活塞則負(fù)責(zé)將氣體壓縮并排出泵體。
在排氣階段，當(dāng)氣體被壓縮后，通過(guò)氣閥排出泵體，隨著繼續(xù)輸入氣體，油泡越來(lái)越大，最終沉積回毛細(xì)管中，油式真空泵使用外置機(jī)械壓力泵作為替代，以從油盒中除去加熱引起的液態(tài)污染物，外置機(jī)械泵以高速旋轉(zhuǎn)的方式將油泡壓縮，以保證壓強(qiáng)的穩(wěn)定性。
油式真空泵具有以下優(yōu)勢(shì)：
極限真空度高：由于油封式真空泵能夠用油將相向運(yùn)動(dòng)的零部件和排氣閥零件間密封起來(lái)，并將有害空間充填，使得高壓氣體反撲的機(jī)會(huì)少得多，密封性能也就好得多，所以泵能達(dá)到較高的真空度。
抽速大、體積?。河头馐秸婵毡玫某樗俅?、體積小，具有較高的性價(jià)比。
可靠性高：油真空泵公司的泵采用雙級(jí)油循環(huán)結(jié)構(gòu)，使泵內(nèi)的真空度得到進(jìn)一步升高，同時(shí)還可以降低對(duì)工作介質(zhì)的污染和損害，泵的壓縮比大，泵頭的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊，使泵的抽速得到了進(jìn)一步的提高。
綜上所述，油式真空泵具有極限真空度高、抽速大、體積小、可靠性高等優(yōu)勢(shì)。